FPD装置事業の歩み

1910年代
  • 東京計器製作所の光学部門と岩城硝子製造所の反射鏡部門を統合、三菱合資会社社長、岩崎小彌太氏の出資をもって日本光学工業(株)を設立(1917年)
  • 大井工場(現 大井製作所)、完成(1918年)
  • 光学ガラスの製造研究に着手(1918年)
1920年代
  • 技術指導のためドイツ人技師8名を招聘(1921年)
1940年代
  • 東京および大阪証券取引所に株式上場(1949年)
1960年代
  • 大井製作所大船工場(現 横浜製作所)を新設(1967年)
  • (株)橘製作所(1977年(株)水戸ニコン、2007年(株)水戸ニコンプレシジョンに社名変更、2010年に解散)を設立(1968年)
  • ルーリングエンジン1号機を納品(1964年)
1970年代
  • SR-1号機の開発に着手(超エル・エス・アイ技術研究組合からの委託)(1976年)
  • SR-1号機、完成(1978年)
1980年(昭和55年)
  • 国産初のステッパー、NSR-1010Gを発表、出荷開始(解像度1.0 µm=1,000 nm)
NSR-1010G
1981年(昭和56年)
  • (株)蔵王ニコン(現 (株)宮城ニコンプレシジョン)を設立
  • NSR-1505G(解像度1,200 nm)
1983年(昭和58年)
  • 横浜製作所内にステッパー専用工場の生産スペースを拡張
1984年(昭和59年)
  • NSR-1505G2A(解像度1,000 nm)
1986年(昭和60年)
  • 世界初のFPD用ステッパー、NSR-L7501G
1987年(昭和62年)
  • (株)ニコンテックを設立
1988年(昭和63年)
  • 「株式会社ニコン」に社名変更
1989年(平成元年)
  • NSR-L1001G
NSR-L1001G
1990年(平成2年)
  • 韓国にNikon Precision Korea Ltd.(略称NPK)を設立
  • FX-201B
1991年(平成3年)
  • 栃木ニコン、露光装置用レンズ生産用の新棟竣工 
  • FX-301D
1992年(平成4年)
  • FX-401E/402E
1993年(平成5年)
  • FX-501D
1995年(平成7年)
  • 台湾にNikon Precision Taiwan Ltd. を設立
1996年(平成8年)
  • FX-601F
1998年(平成10年)
  • FX-701M
2000年(平成12年)
  • シンガポールにNikon Precision Singapore Pte Ltd(2013年、Nikon Singapore Pte. Ltd. に吸収合併)を設立
  • 栃木ニコン、クリーンルームを増床
  • FX-702J
  • 世界初のマルチレンズを搭載した量産用スキャンタイプステッパー、FX-21S
2002年(平成14年)
  • 中国にNikon Precision Shanghai Co., Ltd. を設立
  • FX-51S/61S
  • FX-801M
2003年(平成15年)
  • FX-53S/63S
2004年(平成16年)
  • 横浜製作所横須賀分室(現 横須賀製作所)を開設
2005年(平成17年)
  • FX-71S/81S
2007年(平成19年)
  • (株)栃木ニコンプレシジョンを設立
  • FX-803M/903N
2008年(平成20年)
  • (株)仙台ニコンプレシジョン(2009年、(株)宮城ニコンプレシジョンに吸収合併)を設立
  • 第7~8世代のプレートサイズに対応したFPDスキャナー、FX-75S/85S
2009年(平成21年)
  • (株)水戸ニコンプレシジョンを(株)栃木ニコンプレシジョンに吸収合併
  • (株)仙台ニコンプレシジョンを(株)宮城ニコンプレシジョン(旧 蔵王ニコン)に吸収合併
  • 第10世代の超大型プレートサイズに対応したFPDスキャナー、FX-101S
FX-101S
2010年(平成22年)
  • FPD露光装置、中国市場への販売開始
2011年(平成23年)
  • FX-66S
FX-66S
  • FX-76S/86S
FX-76S/86S
2012年(平成24年)
  • 横須賀製作所を開設
  • 2 µmの高解像度を達成したFPDスキャナー、FX-67S
FX-67S
2013年(平成25年)
  • 横浜製作所、530号館を閉館、502号館を竣工
  • Nikon Precision Singapore Pte Ltd をNikon Singapore Pte. Ltd. に吸収合併
2014年(平成26年)
  • 本社を品川インターシティに移転(東京都港区港南)
  • FX-86SH2
  • FX-86S2
FX-86SH2
2016年(平成28年)
  • 1.5 µmの高解像度を達成したFPDスキャナー、FX-68S
FX-68S
2018年(平成30年)
  • 第10.5世代プレートサイズに対応したFPDスキャナー、FX-103SH/103S
fx-103sh_103s