製品紹介

解像度(L/S)(切替可) 3.5 µm (g+h+i-line), 3.0 µm (i-line) (option)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.6 µm
プレートサイズ 2,880 mm × 3,130 mm
タクトタイム 70 sec./plate
Conditions: 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
  FX-86SH2 FX-86S2
解像度(L/S) 2.2 µm (g+h+i-line) 3.0 µm (g+h+i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.5 µm
最大プレートサイズ 2,200 mm × 2,500 mm
タクトタイム 49 sec./plate
Conditions: 2,200 mm × 2,500 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
解像度(L/S) 1.5 µm (i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.35 µm
最大プレートサイズ 1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム 46 sec./plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, 30 mJ/cm2
  FX-67S2 FX-67S
解像度(L/S) 2.0 µm (g+h+i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.5 µm
最大プレートサイズ 1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム 57 sec./plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
61 sec./plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
  FX-66S2 FX-66S
解像度(L/S) 3.0 µm (g+h+i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.6 µm
最大プレートサイズ 1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム 53 sec./plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
55 sec./plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2