分析・計測サービス

ニコンの分析・計測技術は、カメラレンズや半導体露光装置に使用される光学素材の開発を通して培われてきました。基本的な化学分析や光学特性評価はもちろん、最先端の装置による真空紫外線領域の物性評価、複屈折測定など、さまざまなご要望にお応えします。また、精密用途部品や高精度測定のための加工についてもご相談を承ります。

透過率測定

特長

  • 120~25,000 nmまで、幅広い波長範囲の計測が可能です。
  • 測定を迅速に行うことができる、ダブルビーム(~3,300 nm)光学系方式の分光光度計を採用しています。また、独自の調整技術により測定時のバラツキを抑えています。
  • 精密洗浄により有機物汚染等の影響を排除することで、特に紫外域の透過率を高精度に測定することが可能です。
  • 定点測定、波長スキャン測定、マッピング測定が可能です。

測定温度範囲

120~300 nm(25~400°C)
200~3,300nm(0~100°C)

測定試料

透過性のあるガラス、結晶、樹脂、液体

測定例

内部透過率チャート


サンプル:フッ化カルシウム
試料厚さ 10 mm

内部透過率分布

サンプル:石英ガラス
測定波長 193 nm

複屈折測定

特長

  • 複屈折の面内分布を高精度に測定することが可能です。
  • 進相軸の方向を求めることが可能です。
  • 球面サンプルも測定可能です。

繰返再現性

± 0.03 nm

測定試料

透過性のあるガラス、結晶、樹脂

測定例

複屈折率分布(複屈折量)


サンプル:石英ガラス
測定波長 193 nm

複屈折率分布

サンプル:石英ガラス
測定波長 193 nm
※線の長さ:複屈折量
※線の向き:進相軸の向き

屈折率均質性測定

特長

  • 独自技術を使用しΦ1,000 mmに及ぶ大型試材の測定が可能です。
  • FT-PSI法により多重干渉の発生する平行平板の表裏面形状と屈折率均質性を同時に計測することが可能です。
  • 独自の研磨加工により試料の測定面を最適化することで、高精度に測定することが可能です。

RMS値再現性

< 0.1 nm

測定試料

透過性のあるガラス、結晶

測定例

屈折率均質性(3D図)

屈折率均質性(断面図)

サンプル:石英ガラス
Δn=1.9 ppm(PV)
Φ350 mm測定例

測定項目一覧

項目 項目測定方法、条件等
屈折率測定 標準波長:i、h、g、F、e、d、C線
測定波長:185~3,999 nm
屈折率の温度係数(dn/dt)測定 測定波長:365~1,013 nm 温度:-70°C~90°C
屈折率均質性測定 測定波長:633 nm
透過率測定 測定波長:120~25,000 nm
i線ソラリゼーション評価 超高圧水銀ランプ
レーザ耐久性評価 ArFエキシマレーザ
反射率測定 測定波長:240~25,000 nm
複屈折測定 クロスニコル法
標準複屈折測定(測定精度±1 nm/cm)
精密複屈折測定(測定精度±0.03 nm/cm)
複屈折分布測定(波長: 193 nm、633 nm)
光弾性定数測定 測定波長: 193 nm、633 nm
比重測定 JOGIS 05準拠
蛍光測定 測定波長:220~730 nm
結晶面方位測定 フッ化カルシウム、水晶、サファイア、フッ化マグネシウムなど
内部品質評価 JOGIS 11、12、13準拠
ラマン分光測定 石英ガラス中の水素分子濃度、OH基濃度、仮想温度
焦点距離測定 測定波長:C、d、e線
顕微鏡撮影 光学顕微鏡(最大50倍)
熱的性質 線膨張係数(室温~1,400°C)
Tg(ガラス転移点)、At(屈伏点)、熱重量-示差熱分析(室温~1,500°C)
示差走査熱量測定(室温~1,500°C)
機械的性質 ヤング率、剛性率、ポアソン比
ヌープ硬さ、ビッカース硬さ
摩耗度(JOGIS 10準拠)
化学的耐久性 耐候性、耐水性、耐酸性、耐アルカリ性
  • 測定の内容によっては、試料の加工が必要となります。料金、納期は別途ご相談ください。
  • 測定条件や結果の解析についてもご相談承ります。