FPDフォトマスク基板

ニコンの石英ガラスは、高純度で透明度が高く、泡、異物などが存在しない内部品質に優れた特長をもつ素材です。一般の石英ガラスに比べ大きなサイズで製造されているため、大型化が進むFPDフォトマスク基板にとって有利な条件を備えています。
ニコンのFPDフォトマスク基板は、この優れた品質の素材を用いて、最大約2,000 mmにもなる大型基板を、精密研磨技術・洗浄技術・計測技術を駆使して製造しています。

  • フォトマスク以外の用途にもお使いいただけます。
    お気軽にお問い合わせください。

特長

  • 高純度合成石英ガラスを使用しており、耐熱性、耐久性に優れる
  • 大型化に対応(最大約2,000 mm角まで対応可能)
  • 精密研磨技術、洗浄技術、計測技術を駆使して製造

ニコンでは露光装置の開発・生産を通じて、フラットパネルディスプレイの製造についても豊富な知識を蓄積しています。
次世代の大型FPDフォトマスク基板のニーズにお応えする技術開発を進めています。

FPD露光装置の仕組みとフォトマスク

光透過特性(紫外領域)

i線照射時の i線透過率変化

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  • 各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。

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