石英ガラスウェハ

高品質の材料を使用し、高精度・大型サイズ・薄さ0.4 mm まで対応可能な石英ガラスウェハです。
お客様のご要望に合わせて提供します。

特長

  • 高品質の合成石英ガラスを使用
  • 大型サイズも対応可能(~Φ300 mm)
  • 最薄 0.4 mm
  • 高精度の平面度と表面粗さ

用途

  • 半導体製造プロセス
  • バイオテクノロジー
  • MEMS
  • HTPS(高温ポリシリコンTFT液晶)

測定例

  • サイズ Φ200 mm
  • 平面度(PV) ≦ 10 λ(λ=632.8 nm)
  • 表面粗さ(Ra) ≦ 0.001 μm

仕様例

直径 200 mm
厚さ 0.6 mm
寸法公差 径方向 ± 0.1 mm
厚さ方向 ± 0.02 mm
平面度(PV) ≦ 10 λ(λ=632.8 nm)
TTV ≦ 2 μm
表面粗さ(Ra) ≦ 0.001 μm
スクラッチ 線幅 ≦ 10 μm
ディグ 直径 ≦ 10 μm
カケ ≦ 300 μm(稜線部)
≦ 200 μm(端面部)
  • 当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
  • 各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。

各特性の詳細はこちらをご覧ください。

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