フッ化カルシウム(蛍石)(NICFシリーズ)

ニコンのフッ化カルシウム(NICF)シリーズは、厳しい精度と耐久性が必要な半導体露光装置向けレンズ用として、長年研究開発されてきました。
紫外用途だけではなく、可視・赤外領域においても品質の良い単結晶素材です。

グレードと主な特長

グレード 推奨波長域 特長
NICF-V 真空紫外領域
ArF(193 nm)
NICFシリーズの中で200 nm以下の真空紫外領域までの透過率を保証しており、きわめて高いレーザ耐久性を持つグレードです。
NICF-A ArF(193 nm) NICFシリーズの中でArFエキシマレーザ(193 nm)までの透過率を保証しているグレードです。
NICF-U KrF(248 nm) NICFシリーズの中でKrFエキシマレーザ(248 nm)までの透過率を保証しているグレードです。
NICF-S 紫外領域・可視領域 NICFシリーズの中で一般的なグレードです。
i線(365 nm)や可視光を用いた光学系に最適です。
可視・赤外領域 NICFシリーズの中で可視・赤外領域に最適化したグレードです。

用途

  • 紫外線、高出力レーザ用の光学部品
  • 露光装置用レンズ・光学部品
  • 産業用検査装置用レンズ・光学部品
  • カメラレンズ
  • 天体望遠鏡レンズ
  • 上記以外の用途もご相談ください。

紫外波長における各グレードの透過領域

  • 当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
  • 各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。

各特性の詳細はこちらをご覧ください。

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