i線用光学ガラス

i線用光学ガラスは、i線(365 nm)の波長に対して高い透過率を有する光学ガラスです。
ニコンでは光学分野における豊富な経験を活かし、独自の組成を開発。専用製造装置と高度なノウハウを駆使して、高品質なi線用光学ガラスを製造しています。

ニコンi線用光学ガラスの主な特長

  • 幅広いラインナップ
    独自の組成により、高屈折率タイプ(7054)から低分散タイプ(4786)まで、多様なニーズに応える製品ラインナップを実現しました。
  • i線(365 nm)における優れた透過率
    高純度を追求した厳しい原材料の選定と管理、製造プロセスの最適化により、ガラス中の不純物濃度を極限まで低減。i線波長における高透過率を実現しました。
  • 屈折率均質性
    製造方法の最適化に加え、熱処理プロセスを厳密に管理することにより、卓越した屈折率均質性を実現しました。
  • 耐ソラリゼーション
    独自の組成・原材料・製造プロセスにより、優れた耐ソラリゼーションを実現しました。

用途

  • 露光装置用レンズ・光学部品
  • 産業用検査装置用レンズ・光学部品
  • 各種観測機器用レンズ・光学部品
  • 上記以外の用途もご相談ください。

ラインナップ

硝種名 4786 5859 5742 5165 7054
屈折率
nd
1.47410 1.59042 1.57653 1.51183 1.70623
分散
νd
86.8 59.5 42.1 65.0 54.7
10 mm 内部透過率
(365 nm)τi
99.8% 99.7% 99.5% 99.6% 99.4%
屈折率
ni
1.48726 1.61450 1.61265 1.53073 1.73811
ni ロット内バラツキ
(×10-5
2 2 2 10 10
光学的
均質性規格
(Δn)
(×10-6
~Φ100
mm
1 1 1 - -
~Φ200
mm
1 1 1 - -
~Φ280
mm
2 2 2 - -
ソラリゼーション 良好 良好 良好 良好 良好
データシート
(英語版)
4786
(PDF:197KB)
5859
(PDF:195KB)
5742
(PDF:195KB)
5165
(PDF:195KB)
7054
(PDF:195KB)
  • 10 mm内部透過率(保証値):厚さ10 mmのガラス中をi線(365 nm)が何%透過するのかを示します。(表面反射損失は含みません)
  • 屈折率(ni)(代表値):i線(365 nm)における屈折率を示します。要求品質によっては長いアニールが必要となるため、屈折率の値が変化します。当社規定のアニールをした場合の値です。
  • niロット内バラツキ(保証値):同一ポットかつ同一アニールにおける部品のniのバラツキを示します。
  • 屈折率均質性(保証値):He-Neレーザ干渉計を用いて、平行平面のガラスに対して屈折率の面内バラツキを測定し、保証します。硝種・寸法・形状によってはΔnの保証値が変わる場合があるため、Φ100 mm以下・Φ200 mm以下・Φ280 mm以下の各々で示します。
  • ソラリゼーション:超高圧水銀灯の照射による透過率低下を示します。照射前の分光透過率80%に対する波長において、照射後の透過率低下で示します。

透過率


試料厚さ 10 mm

  • 当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
  • 各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。

各特性の詳細はこちらをご覧ください。

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