合成石英ガラス(NIFSシリーズ)

NIFSシリーズは、ニコン創設以来100年近くの光学分野における経験をもとに開発・製造している合成石英ガラスです。
合成石英ガラスは、一般的に、不純物が少ない、透過性に優れる、耐熱性に優れるといった特長をもっています。NIFSシリーズは、上記の特長はもちろん、さらに優れた光学特性を持った石英ガラスです。使用する用途やサイズ、使用波長などの光学特性に応じて、各種グレードからお選びいただけます。

グレードと主な特長

グレード 推奨波長域 特長
NIFS-V ArF(193 nm) NIFSシリーズの中でArFエキシマレーザ(193 nm)までの透過率を保証しており、さらにきわめて高いレーザ耐久性を持つグレードです。
NIFS-A ArF(193 nm) NIFSシリーズの中でArFエキシマレーザ(193 nm)までの透過率を保証しているグレードです。
NIFS-U KrF(248 nm) NIFSシリーズの中でKrFエキシマレーザ(248 nm)までの透過率を保証しているグレードです。
2,000 mm角までの大型高品質素材の提供が可能です。
NIFS-S 紫外領域・可視領域 NIFSシリーズの中で一般的なグレードです。
i線(365 nm)や可視光を用いた光学系に最適です。
2,000 mm角までの大型高品質素材の提供が可能です。
NIFS-I 非光学用途 NIFSシリーズの中で光学系以外に使用するグレードです。高純度冶具などに最適です。
2,000 mm角までの素材の提供が可能です。

用途

  • 紫外線、高出力レーザ用光学部品
  • 半導体/FPDフォトマスク用合成石英ガラス基板
  • 露光装置用レンズ・光学部品
  • 産業用検査装置用レンズ・光学部品
  • 石英ガラスウェハ
  • TFT、CCDなど、各種デバイス用基板
  • 天文分野向け光学部品
  • 医療分野向け光学部品
  • 半導体製造用部材
  • 上記以外の用途もご相談ください。

紫外波長における各グレードの透過領域

  • 当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
  • 各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。

各特性の詳細はこちらをご覧ください。 

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