測定機

自動マスク寸法測定機 AMFiM NEW

自動マスク寸法測定機 AMFiM

本製品は、9インチ以下のフォトマスクの線幅と座標の自動測定ができます。
高精度測定ステージや独自開発の光学系を採用することにより、簡単操作で高い再現性を得られます。
i線LED光源の採用により、メンテナンスが容易です。

自動マスク寸法測定機 AMFiM
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●主な仕様

測定対象マスク9インチ以下
対象線幅0.5~30μm(視野内計測)
30~500μm(ステージ移動計測)
線幅測定再現性 ※1 ※23σ≦5nm
座標測定再現性 ※13σ≦15nm
スループット ※1線幅測定: 8分30秒以下
座標測定: 13分以下

※1 弊社指定の測定条件にて
※2 線幅30μm以下にて


両面座標測定機 BSM

両面座標測定機 BSM

本製品は、ウェハ表裏両面のパターン間の座標偏差を測定します。(TAIKO(※)ウェハ対応可能)

  • 測定再現性  3σ ≦ 100nm
  • 試料サイズ  ~Φ200mmウェハ

※TAIKOは株式会社ディスコの登録商標です。

両面座標測定機 BSM
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