お客様の声にお応えしてきた技術の蓄積がここにあります。
高NA対物レンズや広視野／高画質対物レンズなど、お客様のご希望に沿った倍率、WD、NA、使用波長の最適化設計が可能です。
【関連】
▲広視野／高画質対物レンズ
投影露光による微細パターン形成用に最適です。露光領域周辺までの高精細化を実現しています。露光波長はi線、g線およびgh線に対応が可能です。
▲投影露光レンズ
