設計・組み立て技術

　各種機械/光学系の設計ツールを駆使し、さまざまな機械/光学系の設計を行ないます。
　また、豊富な経験に基づいて各種のご相談にも対応します。

光学系の設計

【顕微鏡光学系の設計】

対物レンズ（紫外・可視・赤外）
結像レンズ
大型検査顕微鏡用リレー光学系

【露光機用光学系の設計】

露光用投影レンズ
露光用照明光学系
アライメント光学系

【関連】

【各種計測用光学系の設計】

航空計測用カメラレンズ
微弱蛍光検出用光学系
オートコリメータ　など

【各種光学素子の設計】

非球面レンズ
回折光学素子　など

機械構造の設計

　露光装置、高精度測定装置に不可欠な高剛性・耐震性・温度安定性に優れた構造体を設計します。専用の3Dツールを用いて詳細に検討・解析し、設計に反映させています。

【関連】

ニコンエンジニアリングの制御ソフト

【ステージ制御】

ピエゾ使用ナノミクロンステージ制御
ソフト補正付きフルクローズドステージ制御
レーザポジショナー付き精密ステージ制御
フルクローズドリニアモータアライメントステージ制御

【コンピュータ画像処理およびデジタル信号処理】

高精度（サブピクセル）画像処理によるアライメント技術
画像処理によるオートフォーカス処理
光強度3Dプロファイル計測技術
デジタル信号処理による高速干渉位置計測技術
レーザ干渉による測長制御技術

【関連】

光学系の組立・調整

【光学部品のクリーニング】

　光学系内のゴミや汚れは、光学性能に大きく影響します。そのため、金属部品はもとよりレンズやプリズムなど光学部品は、細心の注意を払って拭き上げます。また、クリーニング用溶剤はその日の気温・湿度に応じて混合比を調整するなど、きめ細かな対応をしています。

※クリーニング用溶剤エーテルおよびメタノールの混合。エーテル：メタノール＝7：3が目安です。

【光学部品の固定】

　光学部品の装着・固定には、金属部品を使用する場合と接着剤を使用する場合があります。いずれの固定方法でも、弱ければガタが生じ、強すぎると歪みが発生してしまうため、固定強度のバランスが求められます。
　接着の場合は、使用目的の状況に応じて数種類の接着剤を使用しますが、完全に硬化するまで一晩置くなどの処置も行なわれます。

【光学系の調整】

　光学系の光路調整やレンズの焦点調整は、基本的にはレーザやオートコリメータなどの工具を使用して行ないます。それでも色調の違いなどは、今なお熟練技術者の目視による判断が必要とされる特殊な分野と言えます。

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