露光装置

MEMSデバイスの多様化に対応

スマートフォン等モバイル機器や自動車用部品に多く用いられる、MEMSデバイス/システムの製造に大きく貢献しているのがニコンエンジニアリングの露光装置「MEMSステッパー」です。
MEMS技術はスマートフォン、タブレット、デジカメ、カーナビ、プロジェクタ、社会インフラモニタリング、健康モニタリングなど身近なところで使用されています。

※MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systemsの略で、半導体製造技術やレーザ加工技術等、各種の微細加工技術を応用し微小な電気要素と機械要素をひとつの基板上に組込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス / システムのこと。

MEMSステッパーは、このようなMEMSデバイス製造の多様化に対応するため、次のような様々な技術を取り入れています。

コンセプト

• 集約大別された2つのボディタイプ
• 特徴ある様々な最適投影光学系の組み合わせ
• カスタマイズ設計

お客様の課題に合わせて最適なモジュールを組み合わせて製作されるため、研究から量産まで幅広い対応が可能です。

ミニマルサイズ

高さや幅など、スペースにお困りのお客様にも、ご満足いただけるコンパクトな中に機能を凝縮した設計になっています。

投影レンズ&照明系設計製造

国産第1号ステッパーの出荷以来、35年以上にわたって培われた、ニコングループの設計製造技術に裏打ちされた製品品質が、お客様の求めていたレジストプロファイルを提供します。

波長	i / h / g / 複合
NA	0.07～0.2
露光フィールド	□15～44mm
DOF	12～74um
像面照度	300～1400mW/cm2

異形、異種ウェハ対応設計製造

PrAシリーズに始まり20年にわたって積み重ねた特殊デバイス対応力が、お客様のあらゆるデバイスへの搬送、露光への課題を解決します。

■特殊デバイスの一例

2"～8"ウェハ、角基板、極厚 / 極薄ウェハ、TAIKOウェハ^※
変形・反りウェハ、貼り合わせウェハ、化合物半導体、透明基板

※TAIKOは株式会社ディスコの登録商標です。

オプション

お客様の特別な課題を解決するための豊富なオプションを取り揃えています。

• バックサイドアライメント（直視タイプ）
• バックサイドアライメント（IRタイプ）
• 任意パターンマッチングアライメント
• 低コントラスト、低段差、粗面等に最適化したアライメント
• 下層レイヤ歪曲補償アライメント
• 露光波長可変照明
• 露光NA可変照明系
• 露光強度可変照明
• 周縁遮光
• 周縁露光
• ケミカルフィルター

イージーインストール化

搬入から装置立ち上げまで短期間で完了します。最短で稼働が可能ですので導入タイミングを逃しません。

スマートオペレーション化

OSはWindows^※を採用しているため、半日のトレーニングでオペレーション可能となります。
学生、デバイス研究者、ライン作業者によって簡単に操作できますので、専任オペレータは必要ありません。

※Windows は米国 Microsoft Corporation の米国およびその他の国における登録商標です。

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