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人類史上最も精密な機械と称される露光装置。最先端技術を駆使したその精度は、 実に１ナノメートル(１メートルの10億分の１)に対応する、極限の精密さを誇っています。 世界の半導体/液晶ディスプレイ生産を支える、半導体/液晶露光装置の最新ラインアップをご紹介します。