193nm固体レーザー(NSL-193L)(生産終了)
概要
カスタムプロダクツ事業部では、ニコンで長年培った光学技術と精密技術を活かしてArFエキシマレーザーと同一波長193nmで高繰返し周波数の固体レーザーを製造・販売(受注生産)しています。
特長
- 全固体の深紫外光源
- ArFエキシマレーザーと同一波長(波長193nm)
- 高繰返し周波数
- 簡便な操作性
- 1年間のメンテナンスフリー
仕様
構成 | (1)レーザーヘッド、(2)制御ラック、(3)ケーブル、(4)制御ソフトウェア(OS:windows 7,10 JP版) |
---|---|
中心波長 | 193.4nm(真空換算) (ArFエキシマレーザーと同一波長) |
平均パワー(出力) | 100mW |
繰返し周波数 | 400KHz |
スペクトル(FWHM) | <8pm |
パルス時間幅 | <1.5nsec |
偏光比 | 100:1 |
ビーム品質(M2) | <2.5 |
ビーム径 | 約1mm×2mm |
結晶シフト | 自動シフト |
寸法 | W810×H400×D1010 mm(突起部、脚部除く) |
質量 | 約140kg(レーザーヘッドのみ) |
電源 | AC 100V、15A(max) |
消費窒素ガス | 流量<6 ℓ/min(純度99.999%以上) |
窒素配管接続 | 1/4 inch継手使用 |
メンテナンス | 1年間隔 |
使用温度範囲 | 23°C±5°C(TBD) (ただし、使用時の温度変化は±1°C) |
オプション | パソコン(別途相談) |
- ※本製品はJIS C 6802のクラス4製品に相当します。JIS C 6802に準拠した安全対策が施されています。
- ※特注扱いによる受注生産となります。
- ※お客様のご要望に合わせ、出力特性のカスタマイズを検討いたします。
- ※193nm固体レーザーを組み込んだレーザーシステムのご提案も可能です。
- ※メンテナンスは、安全のため弊社にお戻しいただいての対応となります。
- ※本仕様は予告なく変更する場合があります。
応用分野・用途
- タンパク質結晶加工装置
- 液浸二光束干渉露光実験装置
- 測定用光源
ニコン独自の193nm光発生方式
赤外増幅部と波長変換部を有するニコン独自の方式により、ArFエキシマレーザーと同一波長で動作する193nm固体レーザーを実現しました。標準仕様では出力100mWを提供します。
効率的な波長変換方式を採用しているため、出力安定性/高繰返し周波数を得ることが可能になりました。