193nm固体レーザー(NSL-193L)

概要

カスタムプロダクツ事業部では、ニコンで長年培った光学技術と精密技術を活かしてArFエキシマレーザーと同一波長193nmで高繰返し周波数の固体レーザーを製造・販売(受注生産)しています。

特長

  • 全固体の深紫外光源
  • ArFエキシマレーザーと同一波長(波長193nm)
  • 高繰返し周波数
  • 簡便な操作性
  • 1年間のメンテナンスフリー

仕様

構成(1)レーザーヘッド、(2)制御ラック、(3)ケーブル、(4)制御ソフトウェア(OS:windows 7,10 JP版)
中心波長193.4nm(真空換算)
(ArFエキシマレーザーと同一波長)
平均パワー(出力) 100mW
繰返し周波数 400KHz
スペクトル(FWHM) <8pm
パルス時間幅 <1.5nsec
偏光比 100:1
ビーム品質(M2 <2.5
ビーム径 約1mm×2mm
結晶シフト 自動シフト
寸法 W810×H400×D1010 mm(突起部、脚部除く)
質量 約140kg(レーザーヘッドのみ)
電源 AC 100V、15A(max)
消費窒素ガス 流量<6 ℓ/min(純度99.999%以上)
窒素配管接続 1/4 inch継手使用
メンテナンス 1年間隔
使用温度範囲 23°C±5°C(TBD)
(ただし、使用時の温度変化は±1°C)
オプション パソコン(別途相談)
  • 本製品はJIS C 6802のクラス4製品に相当します。JIS C 6802に準拠した安全対策が施されています。
  • 特注扱いによる受注生産となります。
  • お客様のご要望に合わせ、出力特性のカスタマイズを検討いたします。
  • 193nm固体レーザーを組み込んだレーザーシステムのご提案も可能です。
  • メンテナンスは、安全のため弊社にお戻しいただいての対応となります。
  • 本仕様は予告なく変更する場合があります。

応用分野・用途

  • タンパク質結晶加工装置
  • 液浸二光束干渉露光実験装置
  • 測定用光源

ニコン独自の193nm光発生方式

赤外増幅部と波長変換部を有するニコン独自の方式により、ArFエキシマレーザーと同一波長で動作する193nm固体レーザーを実現しました。標準仕様では出力100mWを提供します。
効率的な波長変換方式を採用しているため、出力安定性/高繰返し周波数を得ることが可能になりました。

お問い合わせください

価格・納期についてはお問い合わせください。類似の製品、上記に記載のない仕様・用途に関するご要望にもお応えいたします。お気軽にご相談ください。

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