製品紹介

  FX-103SH FX-103S
解像度(L/S) 2.2 µm (g+h+i-line) 3.0 µm (g+h+i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.5 µm
プレートサイズ 2,940 mm × 3,370 mm
タクトタイム 60 s/plate
Conditions: 2,940 mm × 3,370 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
  FX-86SH2 FX-86S2
解像度(L/S) 2.2 µm (g+h+i-line) 3.0 µm (g+h+i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.5 µm
プレートサイズ 2,200 mm × 2,500 mm
タクトタイム 49 s/plate
Conditions: 2,200 mm × 2,500 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
  FX-68SH FX-68S
解像度(L/S) 1.2 µm*1 (i-line) 1.5 µm (i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.27 µm
プレートサイズ 1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム 42 s/plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2
  1. 位相シフトマスク使用時
  FX-67S2 FX-67S
解像度(L/S) 2.0 µm (g+h+i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.5 µm
プレートサイズ 1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム 57 s/plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
61 s/plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
  FX-66S2 FX-66S
解像度(L/S) 3.0 µm (g+h+i-line)
投影倍率 1:1
重ね合わせ精度 ≦ ±0.6 µm
プレートサイズ 1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム 53 s/plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
55 s/plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2