2. 薄膜トランジスタ(TFT)をガラスプレートにパターニングするFPD露光装置

  1. パターニング:回路パターンを露光すること

画素数が800万を超える4K(UHD=Ultra HD)ディスプレイでは、各画素に付属しているTFTの数も、800万×赤・緑・青の3色分で2,400万個以上になり、これらのTFTを制御することで高解像度の映像を映し出しています。この微細なTFTをガラスプレートにパターニングするのが「FPD露光装置」です。

FPD露光装置は、TFT回路パターンが描かれた原版であるフォトマスクに光を照射。レンズを通してガラスプレートに回路パターンを露光します。大型のガラスプレートでは、複数回にわたって露光を繰り返し、ガラスプレート全体に回路を形成していきます。

ニコンのFPD露光装置は、精度や生産性に優れるマルチレンズ・スキャン方式を採用しています。