3. マルチレンズシステムでガラスプレートの大型化に対応

年々大型化が進むガラスプレートからより多くのパネルを切り出すようになると、一回の露光でより広い範囲へのパターニングが可能な高い生産性が求められます。

これを実現するためにニコンが独自開発した技術が「マルチレンズシステム」です。大型ガラスプレートを効率よく露光するために、ニコンでは複数のレンズを2列に並べることで、広い露光範囲を確保しました。最大のFPD露光装置であるFX-103SH/103Sでは、14本ものレンズを並べ、これを1本の巨大レンズのように精密に制御して露光しています。