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装置組込機器

◆紫外対物レンズ

紫外対物レンズ UV5×A、20×、50×A

紫外対物レンズ

  • YAGレーザ3波長(266nm、355nm、532nm)に対応、長作動距離を実現。
  • 可視光(波長546nm&532nm)と紫外光(266nm、355nm)の優れた色収差補正
  • 高透過率硝材と高効率反射防止膜を採用。可視域から紫外域まで高い透過率を実現。
  • 弊社製レーザ用光学鏡筒NLB-4との組合せにより、微細でシャープな加工と観察が可能となりました。
  • レンズ非接合設計により優れたレーザ耐性を実現。

※UV5×Aのみ266nm~C線(656.3nm)まで連続補正。
・専用結像レンズを用意しています。

近紫外対物レンズ NUV20×、NUV50×

近紫外対物レンズ

  • 可視域(通常の観察波長域)から近紫外(355nm)までの優れた色収差補正と、視野全域にわたり高い解像力を確保。
  • YAG-THG、SHG(355nm、532nm)に対応、優れたレーザ耐性と長作動距離を実現。
  • 半導体回路および液晶基板等のレーザリペアに最適です。
  • 高透過率硝材と高効率反射防止膜を採用、可視域から近紫外まで高い透過率を実現しています。
  • 0.7mmガラス厚補正対物レンズ(20×L、50×L)を取り揃えました。

※NUV100×(NA/0.5×、WD/11mm)は販売終了しました。

◆第2対物レンズ

紫外用第2対物レンズ

※近赤外対物レンズ NIRの製造元は株式会社ニコンです。

◆高解像力対物レンズ

高解像力対物レンズ HR5×A、10×、20×A

高解像力対物レンズ

  • 一般対物レンズの1.6倍以上のNAを実現。
    HR 5×A :NA/0.25, WD/ 12.0mm
    HR 10× :NA/0.5, WD/ 1.6mm
    HR 20×A:NA/0.75, WD/ 0.7mm

※対物ネジの寸法は、HR5×A/HR10×はΦ27mm、HR20×AはΦ20.32mmです。
※小型落射顕微鏡CM2シリーズと組合せてお使い頂けます。

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