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露光装置
縮小投影露光装置 MEMSステッパーシリーズ
MEMSデバイスの多様化に対応
- 2~6インチウェハ対応機、6~8インチウェハ対応機をラインナップ
- MEMS用R&D用途からプロダクションまで一台での対応が可能
- 様々な基板サイズ/形状、接着、変形などご要望に合わせてカスタム対応が可能
- 深いDOFで厚膜に対応
- IR、裏面アライメントが可能(オプション)
- イージーインストール/スマートオペレーション