特殊機器

高い互換性でFOUPとLoadportをつなぐラインの立ち上げ基準治具として位置付けられ様々なメーカーやウェハプロセスの現場で活躍。使いやすさと迅速なアフターサービス、多数の販売実績で多くのユーザー様から厚い信頼をいただいています。

• プロセスのレジストレーションピン・ラッチキーの位置評価を行います。
• コーナーエッジを切り欠き、ロードポートカバーを付けたままで評価可能です。
• クリーンルーム仕様の専用ケース付き。

営業・販売会社は株式会社ニコンテックへ変更となりました。
製品に関するお問い合わせは株式会社ニコンテックへお願い致します。

光学調整の技能向上のための教材として、組立→調整→分解→再組立など、光学調整の社内教育実習用にご使用いただけます。

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