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測定機

自動マスク寸法測定機　AMFiM

自動マスク寸法測定機　AMFiM

本製品は、9インチ以下のフォトマスクの線幅と座標の自動測定ができます。
高精度測定ステージや独自開発の光学系を採用することにより、簡単操作で高い再現性を得られます。
i線LED光源の採用により、メンテナンスが容易です。

両面座標測定機　BSM

両面座標測定機 BSM

本製品は、ウェハ表裏両面のパターン間の座標偏差を測定します。（TAIKO(※)ウェハ対応可能）

  • 測定再現性　 3σ ≦ 100nm
  • 試料サイズ　 ～Φ200mmウェハ

※TAIKOは株式会社ディスコの登録商標です。