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装置組込機器
高耐久電動レボルバ DR-5A2
高耐久電動レボルバ DR-5A2
高耐久、高精度。クリーン度を向上。
- 対物レンズ切替500万回以上の優れた耐久性を誇ります。
- 給油不要のため自動検査装置に最適です。
- 高精度センサーにより停止精度±2μmを実現しています。
- 低発塵構造でクリーン度クラス4（ISO14644-1）に対応しています。
- 豊富な制御機能によって様々なシーンで活用可能です。
手動レボルバ MR-5
手動レボルバ MR-5
- レーザ鏡筒NLB-4と小型落射顕微鏡CMシリーズ、CM2シリーズ用の手動レボルバ（5ヶ孔）です。
- NLB-4、CMシリーズ、CM2シリーズ用の取り付けアダプタをそれぞれ用意しています。
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